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潔凈室氣體系統(tǒng)分項(xiàng)驗(yàn)收要求:（1） 各種成品應(yīng)有產(chǎn)品合格證，材料應(yīng)有質(zhì)量證明文件。 （2） 實(shí)際使用的管道材料和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)吹除和供給裝置要求:1. 氣體管道各項(xiàng)試驗(yàn)合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級(jí)別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮?dú)獯党軆?nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)強(qiáng)度試驗(yàn)要求:1. 可燃?xì)怏w和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應(yīng)逐個(gè)進(jìn)行強(qiáng)度和嚴(yán)密性試驗(yàn)。管路系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行強(qiáng)度試驗(yàn)。強(qiáng)度試驗(yàn)應(yīng)采用氣壓試驗(yàn)，并應(yīng)采取嚴(yán)格的安全措施，不得采用...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)安裝要求:管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作： （1） 配管下料時(shí)應(yīng)采用“等離子切割”或?qū)Ｓ们懈钿?、割管刀等工具，不?yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。...
潔凈室氣體系統(tǒng)管材及附件設(shè)計(jì)要求:一、潔凈室氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)一般規(guī)定 1. 潔凈室氣體系統(tǒng)施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫(yī)用氣體、可燃?xì)怏w、惰性氣體輸送管道以及真空...
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