一、自動控制要求

      1 潔凈廠房宜設置凈化空調系統(tǒng)等的自動監(jiān)控裝置。

      2 潔凈室凈化空調系統(tǒng)宜選用變頻調速控制的風機。

      3 凈化空調系統(tǒng)的電加熱器應設置無風、超溫斷電保護裝置。當采用電加濕器時，應設置無水保護裝置。

二、靜電防護及接地

      1 潔凈廠房應根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護措施。

      2 潔凈室（區(qū)）內的防靜電地面，其性能應符合下列規(guī)定：

      （1）地面的面層應具有導電性能，并應保持長時間性能穩(wěn)定。

      （2）地面的面層應采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應為1.0×10⁵Ω/□?1.0×10¹²Ω/□或體積電阻率為1.0×10⁴Ω?cm~1.0×10¹¹Ω?cm。

      （3）地面應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻值應為1.0×10⁵Ω?1.0×10⁹Ω。

      3 潔凈室的凈化空調系統(tǒng)應采取防靜電接地措施。

      4 潔凈室內可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險場所的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定。

      5 防靜電接地系統(tǒng)應分別按不同要求設置接地連接端子。 在一個房間內應設置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。

在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應小于0. 10。

      6 潔凈廠房內不同功能的接地系統(tǒng)的設計均應遵循等電位聯(lián)結的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。

      7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》 GB 50057的有關規(guī)定。