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電子工業(yè)潔凈廠房純水系統(tǒng)設計要求

發(fā)布時間:2022-06-02 14:36人氣:

一、純水供應一般規(guī)定

1. 電子產品生產用純水系統(tǒng)的選擇,應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求,并結合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情況,經技術經濟比較確定。

2. 純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內;潔凈室(區(qū))內的純水支管宜暗裝。

3. 穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管,套管與管道之間應采取密封措施。

4. 潔凈室(區(qū))內純水管道的保溫材料,不得產生污染物,外表面應平整、光滑、易于清潔。

二、純水系統(tǒng)設計要求

1. 純水系統(tǒng)的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外,還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

2. 純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合下列規(guī)定:

      (1) 純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿足供水水質、終端水質的要求;

      (2)純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇,應確保水質污染少、密封性好,不得有滲氣現(xiàn)象;

      (3)純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質降低。

3. 純水系統(tǒng)應采用循環(huán)供水方式,宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng),并應符合下列規(guī)定:

      (1) 循環(huán)回流水量應大于設計供水量的30%;

      (2)干管流速應大于等于1.5m/s;

      (3)不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍;

      (4)干管應設置清洗口;

      (5)管道系統(tǒng)必須密封,不得有滲氣現(xiàn)象;

      (6)應配備在線水質檢測儀表;

      (7)對純水水質要求嚴格的電子產品生產工藝,應采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。

4. 純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設備表面應光潔、平整、化學性質穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

5. 用于純水系統(tǒng)的水質檢測設備、量具、儀表,其連接不應使純水水質降低,其檢測范圍和精度應符合純水生產和檢驗的要求。

6. 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產設備設置。

三、管材、閥門和附件選用要求

1. 純水系統(tǒng)管道材質的選用,應符合下列要求:

      (1)應滿足純水水質指標的要求;

      (2)材料的化學穩(wěn)定性應好;

      (3)管道內壁光潔度應好;

      (4)不得有滲氣現(xiàn)象。

2.純水管道的閥門和附件的選用應符合下列規(guī)定:

      (1)應選擇與管道相同的材質;

      (2)應選用密封好、結構合理、無滲氣現(xiàn)象的閥門;

      (3)對純水的水質要求嚴格的產品生產工藝用純水系統(tǒng),應采用隔膜閥。

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