1 范圍

      本標準規(guī)定了潔凈機器人的產(chǎn)品分類、性能、技術要求、試驗方法及標志、使用說明書、包裝、運輸及貯存等。

      本標準適用于在潔凈室使用的，在大氣或真空環(huán)境中執(zhí)行搬運等任務的潔凈機器人。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 191 包裝儲運圖示標志

      GB/T 4768 防霉包裝

      GB/T 4857.23 包裝 運輸包裝件基本試驗 第23部分：隨機振動試驗方法

      GB/T 4879 防銹包裝

      GB/T 5048 防潮包裝

      GB 5226.1-2008 機械電氣安全 機械電氣設備 第1部分：通用技術條件

      GB/T 7932-2017 氣動 對系統(tǒng)及其元件的一般規(guī)則和安全要求

      GB/T 9969 工業(yè)產(chǎn)品使用說明書 總則

      GB 11291.1-2011 工業(yè)環(huán)境用機器人 安全要求 第1部分：機器人

      GB/T 12642-2013 工業(yè)機器人 性能規(guī)范及其試驗方法

      GB/T 13306 標牌

      GB/T 25915.1-2010 潔凈室及相關受控環(huán)境 第1部分：空氣潔凈度等級

      GB/T 32293-2015 真空技術 真空設備的檢漏方法選擇

      JB/T 8896-1999 工業(yè)機器人 驗收規(guī)則

3 術語和定義

      下列術語和定義適用于本文件。

3.1

      工業(yè)機器人 industrial robot

      自動控制的、可重復編程、多用途的操作機，可對三個或三個以上軸進行編程。在工業(yè)自動化中使用。

      注1：工業(yè)機器人包括：

      ——操作機，含制動器；

      ——控制器，含示教盒和某些通信接口（硬件和軟件）。

      注2：這包括某些集成的附加軸。

      注3：它可以是固定式或移動式。

      注4：改寫GB/T 12643-2013，定義2.9。

3.2

      潔凈室 clean room

      空氣懸浮粒子濃度受控的房間。

      注1：它的建造和使用能減少室內滲入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力也會受控。

      注2：改寫GB50073-2013，定義2.0.1。

3.3

      真空 vacuum

      用于描述低于大氣壓力或大氣質量密度的稀薄氣體狀態(tài)或基于該狀態(tài)環(huán)境的通用術語。

      ［GB/T 3163-2007，定義2.3］

3.4

      潔凈機器人 clean-room robot

      在潔凈室（3.2）使用的，在電子器件制造、醫(yī)藥制造、食品制造等行業(yè)執(zhí)行搬運等任務的工業(yè)機器人(3.1)。

      注：可適用于大氣和真空環(huán)境。

3.5

      大氣機器人 atmospheric robot

      機器人整體或部分在大氣環(huán)境下使用的潔凈機器人（3.4）。

3.6

      真空機器人 vacuum robot

      機器人整體或部分在真空（3.3）環(huán)境下使用的潔凈機器人（3.4）。

3.7

      潔凈度 cleanliness

      以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。

      ［GB 50073-2013，定義2.0.12］

3.8

      漏率 leak rates

      在規(guī)定條件下，一種特定氣體通過漏孔的流量。

      ［GB/T 3163-2007，定義6.1.9］

4 產(chǎn)品分類

      按使用環(huán)境分為：

      a）大氣機器人；

      b）真空機器人。

5 性能

      潔凈機器人（以下簡稱機器人）的性能指標參數(shù)，應在產(chǎn)品標準中規(guī)定，包括下列各項：

      a）各軸運動范圍；

      b）最大單軸速度；

      c) 位姿準確度和重復性；

      d）位置穩(wěn)定時間；

      e）軌跡準確度和重復性；

      f）軌跡速度；

      g) 靜態(tài)柔順性；

      h）潔凈度；

      i) 漏率。

6 技術要求

6.1 一般要求

      機器人應滿足以下一般要求：

      a）機器人的潔凈設計應滿足產(chǎn)品潔凈度要求；

      b）機器人應按規(guī)定程序批準的設計圖樣和工藝文件進行制造；

      c）機器人部件質量應可靠，并符合相關標準。

6.2 外觀和結構

      機器人外觀和結構應滿足以下要求：

      a）機器人表面色澤應均勻一致，無劃痕等缺陷；表面各部分應光滑，無毛刺、尖角、起泡；

      b）金屬部件不應有銹蝕及其他機械損傷；

      c）文字、符合和標志應清晰、端正，各關節(jié)軸處應標明軸號及運動方向；

      d）機器人結構應布局合理，操作方便，便于維護；

      e）機器人部件質量應可靠，并符合相關標準。

6.3 功能

      機器人功能應滿足以下要求：

      a）機器人的開關、按鈕、顯示、報警及聯(lián)鎖裝置功能應正常；

      b）使用操作機操作機器人各軸運動應平穩(wěn)、正常；

      c）機器人各種運行模式中，指令與動作應協(xié)調一致；

      d）機器人碰撞保護功能應正常。

6.4 氣動系統(tǒng)

      用氣動驅動的機器人夾持器，其氣動系統(tǒng)應符合GB/T 7932-2017的規(guī)定。

6.5 電氣系統(tǒng)

      機器人電氣系統(tǒng)應符合GB 5226.1-2008的規(guī)定。

6.6 安全

6.6.1 基本要求

      機器人的安全應符合GB 11291.1-2011的規(guī)定。針對潔凈應用特點，且應滿足以下工作要求：

      a）機器人在應用過程中不應損壞應用產(chǎn)品；

      b）機器人在搬運過程中物料（硅片、玻璃基板等）不應發(fā)生掉落、滑動；

      c）機器人產(chǎn)生的空氣懸浮粒子濃度應受控，不應破壞應用環(huán)境；

      d）機器人在發(fā)生碰撞時應能夠及時停機。

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